12月13日，晶(jīng)瑞電材(cái)在特定(dìng)對象調(diao)研活動(dòng)中表示(shì)，目前🔴ArF(193)高(gāo)端光刻(kè)膠🐅研發(fa)工作已(yǐ)正式啓(qi)動，已完(wán)成光刻(kè)機✏️、勻膠(jiāo)顯影⚽機(jī)、掃描電(dian)鏡、台階(jiē)儀等設(she)備購置(zhì)，其中ASML1900Gi型(xing)光刻機(jī)💋設備正(zheng)在積極(jí)調試中(zhong)。同時公(gōng)❓司正在(zai)積極開(kāi)展對上(shàng)📐遊材料(liào)樹脂單(dān)體及配(pei)方的研(yán)❌究。
公司(sī)高端KrF(248)光(guāng)刻膠已(yǐ)完成中(zhong)試，建成(cheng)了中試(shì)示範線(xiàn)，已進入(ru)♍客✂️戶🌈測(cè)試階段(duàn)。近期已(yǐ)購得KrF光(guang)刻機一(yī)台，可用(yòng)于KrF光刻(kè)膠的曝(pù)光測試(shi)，同時公(gong)司KrF光刻(ke)膠量産(chǎn)化✂️生産(chan)線☀️正在(zài)積極建(jiàn)設中。
據(ju)晶瑞電(diàn)材表示(shi)，此前，公(gong)司已經(jīng)購得用(yong)于負膠(jiao)、g 線、i線、ArF 等(děng)🛀 4 台🧡光刻(kè)機，再加(jiā)之此次(cì)購得的(de)KrF光刻機(jī)，公司已(yi)💯經到位(wèi)5台光刻(ke)機。
來源(yuán)：晶瑞電(diàn)材官網(wǎng)
此外據(ju)晶瑞電(diàn)材透露(lù)，晶瑞(湖(hú)北)微電(dian)子材料(liào)項目🚶♀️一(yi)期🌏目前(qian)🔞正🚶♀️在設(shè)備安裝(zhuāng)調試階(jiē)段。
據悉(xī)，2025年12月，晶(jing)瑞電材(cai)(原晶瑞(ruì)股份)發(fā)布公告(gao)稱，拟在(zai)湖北省(sheng)潛江市(shì)投資建(jiàn)設晶瑞(ruì)(湖北)微(wēi)電子材(cái)料項目(mu)，生産光(guāng)刻膠及(ji)其相關(guān)配套的(de)功能性(xìng)材料、電(dian)子級雙(shuāng)氧水、電(dian)子級氨(an)水等半(ban)導體及(jí)面闆顯(xiǎn)示用電(diàn)💚子材料(liào)等，項目(mu)計劃總(zong)投資約(yue)爲人民(mín)币⚽15.2億元(yuán)。
晶瑞電(diàn)材在該(gai)調研活(huo)動中還(hai)表示，受(shòu)益于我(wǒ)國半導(dao)👅體材☎️料(liào)行業國(guo)産替代(dài)進程提(tí)速，下遊(you)芯片廠(chǎng)商需求(qiu)增長♉，當(dāng)前🔴公司(si)主導産(chǎn)品半導(dao)體級光(guāng)刻膠及(ji)配套材(cai)料、超淨(jìng)高純試(shì)♊劑、锂電(dian)池材料(liao)等産銷(xiāo)兩旺㊙️。
未(wei)來随着(zhe)公司 KrF 光(guang)刻膠測(ce)試完成(cheng)并逐步(bu)量産、ArF 光(guāng)刻膠研(yán)發成功(gōng)并最終(zhong)量産，以(yi)及公司(sī)南通、陝(shan)西、四川(chuan)📞等基地(di)新增的(de)高純硫(liu)酸、NMP、光刻(ke)膠等産(chǎn)品産能(néng)的逐步(bù)釋放，有(yǒu)望成爲(wèi)公司🐪新(xīn)的利潤(run)增長點(dian)。
