晶瑞電(dian)材：已啓動(dong)ArF（193）高端光刻(ke)膠研發，KrF光(guang)刻膠完成(cheng)中試

　　11月22日(ri)，晶瑞電材(cai)在特定對(dui)象調研活(huo)動中表示(shi)，目前ArF(193)高端(duan)光刻👿膠研(yan)發工作已(yi)正式啓動(dong)，已完成光(guang)刻機、勻膠(jiao)顯影機、掃(sao)描電鏡、台(tai)階儀等設(she)備購置，其(qi)中ASML1900Gi型光刻(ke)機設備正(zheng)在積極調(diao)試中👋。同時(shi)公司正在(zai)積極開展(zhan)對上遊材(cai)料樹脂單(dan)體及配方(fang)的研究。

 

　　公(gong)司高端KrF(248)光(guang)刻膠已完(wan)成中試，建(jian)成了中試(shi)示範線，已(yi)🧑🏽‍🎄進🧜🏼‍♂️入客戶(hu)測試階段(duan)。近期已購(gou)得KrF光刻機(ji)一台，可用(yong)于KrF光刻膠(jiao)的曝光測(ce)試，同時公(gong)司KrF光刻膠(jiao)量産化生(sheng)産線正在(zai)積極建設(she)中。

 

　　據晶瑞(rui)電材表示(shi)，此前，公司(si)已經購得(de)用于負膠(jiao)、g 線、i線👌、ArF 等 4 台(tai)光刻機，再(zai)加之此次(ci)購得的KrF光(guang)刻機，公司(si)已經到位(wei)5台光刻機(ji)。

 

來源：晶瑞(rui)電材官網(wang)

 

　　此外據晶(jing)瑞電材透(tou)露，晶瑞(湖(hu)北)微電子(zi)材料項目(mu)一期目前(qian)正👩‍🍼在設備(bei)安裝調試(shi)階段。

 

　　據悉(xi)，2025年11月，晶瑞(rui)電材(原晶(jing)瑞股份)發(fa)布公告稱(cheng)，拟在湖北(bei)省潛江市(shi)投資建設(she)晶瑞(湖北(bei))微電子材(cai)料項😍目，生(sheng)🧑🏽‍🎄産光刻膠(jiao)及其相關(guan)配套的功(gong)能性材料(liao)、電子級雙(shuang)氧水、電子(zi)🙆🏿級氨水💕等(deng)半導體及(ji)面~闆顯示(shi)用電子材(cai)料等，項目(mu)計劃總投(tou)資約爲人(ren)民币👻15.2億元(yuan)。

 

　　晶瑞電材(cai)在該調研(yan)活動中還(hai)表示，受益(yi)于我國半(ban)導體材料(liao)行👨‍🦰業國産(chan)替代進程(cheng)提速，下遊(you)芯片廠商(shang)需求增長(zhang)，當前公司(si)主導産品(pin)半導體級(ji)光刻膠及(ji)配套材料(liao)、超淨高純(chun)試劑、锂電(dian)👩🏼‍❤️‍👨🏾池材料等(deng)産銷兩旺(wang)。

 

　　未來随着(zhe)公司 KrF 光刻(ke)膠測試完(wan)成并逐步(bu)量産、ArF 光刻(ke)膠🚶🏾‍♀️‍➡️研發成(cheng)功并最終(zhong)量産，以及(ji)公司南通(tong)、陝西、四川(chuan)等基地新(xin)增的高純(chun)硫酸、NMP、光刻(ke)膠等産品(pin)産能的逐(zhu)步釋放，有(you)望成爲公(gong)司新的利(li)🏊🏾‍♀️潤增長點(dian)。