打破(po)日企壟(long)斷隻是(shi)時間問(wen)題？東進(jin)半導體(ti)宣布與(yu)三星🔞成(cheng)✡️功研發(fa)EUV光刻膠(jiao)

　　據韓媒(mei)etnews報道，韓(han)國東進(jin)半導體(ti)與三星(xing)電子合(he)作，成功(gong)開發了(le)超細半(ban)導體加(jia)工必不(bu)可少的(de)材料——極(ji)紫外(EUV)光(guang)👹刻膠(PR)。EUV光(guang)刻膠是(shi)因其技(ji)術難度(du)高而完(wan)全依賴(lai)國外的(de)産品，此(ci)次韓國(guo)👩‍🍼通過國(guo)内企業(ye)合作實(shi)現了國(guo)産化，意(yi)味着日(ri)企壟斷(duan)的打破(po)。

 

東進半(ban)導體華(hua)城工廠(chang)鳥瞰圖(tu)，來源：etnews

 

　　11月(yue)22日，東進(jin)半導體(ti)宣布于(yu)近期通(tong)過了三(san)星電子(zi)的EUV光刻(ke)👩🏼‍❤️‍👨🏾膠可靠(kao)性測試(shi)，發布此(ci)消息後(hou)，截至11月(yue)22日上午(wu)11時45分，東(dong)進半導(dao)💕體股價(jia)較前一(yi)交易日(ri)上漲12.8%。

 

　　一(yi)位熟悉(xi)此事的(de)業内人(ren)士表示(shi)，“東進半(ban)導體在(zai)其位于(yu)京畿道(dao)華城的(de)工廠開(kai)發了 EUV光(guang)刻膠，并(bing)在三星(xing)電子的(de)華城EUV生(sheng)産線上(shang)對其進(jin)行了測(ce)試，并獲(huo)得了最(zui)終的可(ke)靠性👩🏽‍🐰‍👩🏿認(ren)證。”

 

三星(xing)電子， 來(lai)源：etnews

　　光刻(ke)膠是半(ban)導體曝(pu)光工藝(yi)中的關(guan)鍵材料(liao)。它被施(shi)加👯🏾‍♂️在👯🏾‍♂️晶(jing)片上，當(dang)用半導(dao)體曝光(guang)設備照(zhao)射光時(shi)，會發生(sheng)化學反(fan)應并改(gai)變物理(li)特性。通(tong)過用顯(xian)影劑沖(chong)洗掉來(lai)繪制微(wei)電路，隻(zhi)留下必(bi)要的部(bu)分。

 

　　在韓(han)國，用于(yu)KrF和ArF工藝(yi)的光刻(ke)膠已大(da)量生産(chan)，但沒有(you)用😵‍💫于可(ke)以繪制(zhi)更精細(xi)電路的(de)EUV光刻膠(jiao)，大部分(fen)需要依(yi)賴日本(ben)進口。此(ci)外在2019年(nian)，日本與(yu)韓國爆(bao)發争議(yi)之後曾(ceng)經限制(zhi)三種重(zhong)要的半(ban)導體材(cai)料對韓(han)國的出(chu)口，EUV光刻(ke)膠就是(shi)其中之(zhi)一，爲此(ci)👧🏾韓國公(gong)司也加(jia)快了EUV光(guang)刻膠的(de)研發，東(dong)進半導(dao)體也是(shi)其中😁之(zhi)一。

 

　　東進(jin)半導體(ti)利用自(zi)有的基(ji)礎設施(shi)，如現有(you)的ArF曝光(guang)機和比(bi)利時半(ban)導體研(yan)究所I MEC EUV設(she)備，開始(shi)進行EUV光(guang)刻膠國(guo)産化研(yan)發。

 

　　今年(nian)早些時(shi)候，其加(jia)強了EUV光(guang)刻膠專(zhuan)家并加(jia)速了技(ji)術開發(fa)。此外，三(san)星電子(zi)積極支(zhi)持EUV測試(shi)環境，以(yi)達到可(ke)以ˇ在現(xian)💕場使用(yong)的👩‍🍼質量(liang)水平。

 

　　目(mu)前尚不(bu)清楚三(san)星電子(zi)是否會(hui)立即将(jiang)東進半(ban)導體EUV光(guang)刻膠💑🏾投(tou)入半導(dao)體生産(chan)線。正常(chang)情況下(xia)，如果質(zhi)量合格(ge)就會投(tou)入量産(chan)線。因此(ci)，有人預(yu)測最早(zao)可能👀在(zai)明年上(shang)半年供(gong)應。三星(xing)電子和(he)東進半(ban)導體目(mu)前都拒(ju)絕就本(ben)條新聞(wen)表态。三(san)星電子(zi)的一位(wei)官員表(biao)示：“我們(men)無法與(yu)合作公(gong)司确認(ren)測試是(shi)否通過(guo)。”

 

　　就該消(xiao)息而言(yan)，三星與(yu)東進半(ban)導體研(yan)發的EUV光(guang)刻膠産(chan)品隻是(shi)👽成🤶🏾功通(tong)過了測(ce)試，距離(li)量産時(shi)間還不(bu)确定，但(dan)這一🥑️消(xiao)息也表(biao)明三星(xing)已經在(zai)EUV光刻膠(jiao)方面取(qu)得成功(gong)，量産将(jiang)隻是時(shi)間問題(ti)。