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2025-12-13 07:49
公(gōng)告稱上(shàng)海新陽(yang)作爲國(guo)内集成(chéng)電路制(zhì)造關鍵(jian)工藝材(cai)🐇料供🧑🏾🤝🧑🏼應(ying)商,自立(lì)項進行(háng)光刻膠(jiao)項目研(yan)發以來(lái),将突破(pò)集📧成電(dian)💚路高端(duān)光刻膠(jiao)國外壟(long)斷,實現(xian)集成♌電(diàn)路高端(duān)光刻膠(jiāo)材料的(de)國産化(hua)作爲發(fa)展目标(biāo),在ArF幹法(fǎ)、KrF厚膜及(ji)I線光刻(kè)膠方面(mian)已有技(jì)術與産(chǎn)品的突(tū)破,部分(fen)産品已(yi)經拿到(dao)訂單。
上(shang)海新陽(yáng)表示,公(gōng)司與Heraeus簽(qiān)署本協(xié)議,旨在(zài)完善光(guang)刻膠供(gòng)應鏈📧,爲(wèi)光刻膠(jiao)項目的(de)開展提(tí)供材料(liào)和技術(shù)保障,對(dui)加快公(gong)司集🆚成(chéng)電路制(zhi)造用光(guāng)刻膠産(chǎn)品研發(fa)項目進(jìn)度有積(jī)極影響(xiǎng),有利于(yú)加速落(luò)實公司(sī)發展戰(zhan)略,提高(gao)公司可(kě)持續發(fā)展能力(lì)。
由于(yú)公司開(kāi)展光刻(ke)膠項目(mu)和參與(yu)國家重(zhòng)大科技(ji)項目,研(yán)🛀🏻發投入(rù)持續加(jia)大,研發(fā)費用增(zeng)加明顯(xian)。
今年6月(yue)末,上海(hai)新陽發(fā)布公告(gào)稱,公司(sī)自主研(yán)發的KrF(248nm)厚(hòu)膜光刻(kè)膠産品(pǐn)近日已(yi)通過客(kè)戶認證(zheng),并成功(gong)取🛀🏻得第(dì)一筆訂(dìng)單。公告(gao)稱,上海(hai)新陽開(kai)發的365nm I線(xiàn)、248nm KrF、193nm ArF幹法及(jí)濕法光(guāng)刻膠可(ke)适應國(guó)☂️内0.35-0.11微米(mǐ)、90-28nm芯片工(gong)藝技術(shu)節點的(de)需求。
12月(yuè)13日,上海(hǎi)新陽在(zai)投資者(zhě)互動平(píng)台表示(shi),目前KrF光(guāng)刻膠有(yǒu)持續訂(dìng)單,ArF光刻(kè)膠尚在(zai)認證當(dāng)中。
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